ТЕРМОДАТЧИКЛАРНИ ОЛИШ ЙЎЛЛАРИ
Keywords:
кремний, нанокластер, термодатчик, никел, диффузияAbstract
мақолада нанокластерли кремний намуналари асосида термодатчиклар таёрлаш технологияси келтирилган. Шу билан бирга термодатчикларнинг термик коэффициентининг ҳароратга боғликлиги ҳақида маълумотлар келтирилган.
References
Бонч-Бруевич В.Л., Калашников С.Г. Физика проводников. / М.: Наука. 1990. С.688.
Бахадырханов М.К. //Автореферат докторской диссертации.-Л., 1982. С. 22с.
Болтакс Б.И.Диффузия в полупроводниках. Наука М.1961.С.421
Бахадырханов М.К. Аюпов К.С. Термические свойства кремния с кластерами атомов никеля. Издательство высшего учебного заведения 2008 №12. С.170-172.
Насриддинов С.С.// Терморезистор на основе кремния с нанокластерами атомов никеля// Узбекистоннинг инновацион тараккиёти-ёшлар нигохида. Ташкент 2010г. УзНУ.С.155
Валиев С.А., Насриддинов С.С., Бахадырханов М.К., Тачилин С.А Чувствительный терморезистори на основе сильнокомпенсированного кремния// Электронная обработка материалов 2007г. С.111-113.
